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悉识科技膜厚仪,精准到纳米的测量专家

2026-01-06

膜厚测量技术作为众多领域的关键支撑,正发挥着日益重要的作用。膜厚测试仪凭借其独特的原理和优势,成为了纳米级至微米级透明或半透明膜层厚度、反射率、折射率等参数测量的得力工具。/
从技术本质来看,膜厚测试仪是基于光干涉原理运作的。例如景颐光电膜厚测试仪FILMTHICK C10,其机械结构集成了进口卤钨灯光源,使用寿命超过10000小时,为测量提供了稳定的光源保障。同时,该仪器采用OPTICAFILMTEST光学膜厚测量软件,运用FFT傅里叶法、极值法、拟合法等多种算法,还包含丰富的材料折射率数据库以及开放式材料数据库,能有效协助用户进行测试分析,在测量期间实时显示干涉、FFT波谱和膜厚等趋势,实现了对样品的非接触式、无损测量,可广泛应用于半导体薄膜、液晶显示、光学镀膜、生物医学等薄膜层的厚度测量。
在行业应用方面,以新型超导薄膜制程为例。2025年,中国科学家团队在NiO(氧化镍)基底上成功实现了原子级逐层控制合成高质量的(La, Pr)₃Ni₂O₇外延薄膜,并观测到零电阻与完全抗磁性这两项超导体的标志性特性,为镍基超导材料的研究和应用开辟了新路径。在这一过程中,利用分子束外延技术(MBE),在高真空环境下,将氧化镧的组成元素分别作为束源,在NiO基底上逐层沉积,通过控制沉积率和生长温度等参数,实现原子级精度的薄膜制备。而对于膜厚控制,其准确度和实时性要求极高。景颐光电的反射式膜厚仪在这方面表现良好,可集成在真空中实时测量0.1纳米的厚度变化,为科学探究高温超导特性提供了坚实可靠的测量基础。/再看微流控芯片领域,全氟聚醚(PFPE)涂层对于生物基因检测芯片至关重要。它可通过化学键合或物理吸附等方式对芯片表面进行修饰,调节表面亲疏水性,以满足检测过程中样本均匀分布、减少非特异性吸附等要求,从而提高检测的准确性和灵敏度。而且,全氟聚醚涂层厚度与摩擦系数、液体承载能力、抗磨损能力等密切相关,因此厚度测量必不可少。景颐光电的膜厚测试仪在这一领域同样有着良好的表现,能够测量微流控芯片中10 20nm的PFPE涂层厚度。/
与其他技术相比,膜厚测试仪具有显著的技术优势。虽然在数纳米厚度的测量精确度上,与XRR(X射线反射率)技术相比存在一定差距,但它可以方便地集成在真空原位测量环境中,或者是真空连接腔体中,实现边生长边测量,这一特性极大地提高了科学家探索新型材料的实验效率。例如景颐光电的膜厚测试仪,其产品线丰富,涵盖桌面式膜厚仪、真空膜厚仪、手持式膜厚仪以及高速线扫膜厚仪等多种设备,能够满足不同用户在半导体、材料科学、精密制造和科研等领域的多样化需求。
膜厚测量技术的发展为众多行业的创新和进步提供了有力支持,而膜厚测试仪以其独特的原理、广泛的应用和显著的优势,必将在未来的科技发展中发挥更加重要的作用。/
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