基础系列
台面式光学膜厚测量仪 · 基础款检测设备
反射式光谱干涉测厚 · 十大波段配置可选 · 非接触无损 · 台面式即放即测
产品简介
景颐光电 FILMTHICK-C10系列是一款通用型精密检测基础设备，面向实验室常规检测、基础科研测量与标准样品测试。设备采用反射式光谱干涉测厚原理，机械结构集成进口长寿命卤钨灯光源，配合自研高精度光谱仪，通过 FFT 傅里叶法、极值法、拟合法三大反演算法，对样品实现非接触、无损、高精度测量，覆盖单层及多层薄膜厚度、折射率 n、消光系数 k、反射率与颜色等参数。配套 OPTICAFILMTEST 光学膜厚测量软件内置类型丰富、开放式的材料折射率数据库，测量期间可实时显示干涉、FFT 波谱与膜厚趋势，协助用户完成测试分析。硬件采用模块化设计，核心部件可独立更换，便于后续功能扩展，并支持十大波段配置选配。产品适用于半导体薄膜、液晶显示、光学镀膜、生物医学等领域的薄膜层厚度测量。
核心卖点
五种波段档位可选：C10-UV 190-1100nm｜C10-UVX 190-1700nm｜C10-基础款 380-1100nm｜C10-NIRX 380-1700nm｜C10-NIR 950-1700nm，按膜层与基底匹配选配；
宽量程覆盖：基础款 10nm-100μm，随配置可覆盖 1nm-250μm，单台设备贯通超薄膜与中厚膜需求；
亚纳米级重复性：基础配置膜厚重复性 ≤0.2nm；NIRX 双探测器配置 ≤0.02nm；膜厚稳定性优于 0.05nm；
三算法自动切换：FFT 傅里叶法、极值法、曲线拟合法按膜厚量级自动切换，同步输出膜厚 d、折射率 n、消光系数 k，并显示拟合残差曲线；
台面式即放即测：手动载物台 200mm × 200mm，支持碎片样品至 8 英寸以内圆片；单点测量小于 1 秒（典型约 0.5 秒）；
自研光谱与软件：光谱采集模块采用自研 JY-Spec 系列硅基 CCD 光谱仪；OPTICA FILMTEST 测量软件自主研发，全中文界面，三级权限管理。
型号配置一览（按膜层与基底匹配选配）
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光学原理 |
反射式光谱干涉法，非接触、无损测量 |
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波长范围 |
380-1100nm（基础款）；可选 190-1100nm / 190-1700nm / 380-1700nm / 950-1700nm |
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膜厚测量范围 |
10nm - 100μm（基础款）；随配置可至 1nm - 250μm |
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膜厚重复性 |
≤0.2nm（基础配置）；≤0.02nm（NIRX 双探测器配置） |
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膜厚测量绝对精度 |
≤0.2% 或 2nm（取两者较大者） |
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膜厚稳定性 |
优于 0.05nm |
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测量光斑 |
标准 1.5mm；可选配 1 / 3 / 5mm |
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光源 |
进口卤钨灯，寿命 ≥10,000 小时；可选配氘卤组合光源扩展至 190nm |
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探测器 |
VIS 硅基 CCD；NIRX 配置加配 InGaAs 探测器（双探测器无缝拼接） |
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载物台 |
台面式手动载物台 200mm × 200mm，支持碎片样品至 8 英寸以内圆片 |
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单点测量时间 |
小于 1 秒（典型约 0.5 秒） |
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可测参数 |
膜厚 d、反射率光谱 R(λ)、折射率 n、消光系数 k |
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建模能力 |
支持多层膜堆栈建模与逐层独立拟合，工程常规膜系 1 至 5 层 |
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材料数据库 |
内置数百种光学材料常数（SiO₂、Si₃N₄、SiON、光刻胶、PI、ITO、Al₂O₃、TiO₂ 等），支持自定义扩展 |
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数据与软件 |
OPTICA FILMTEST 软件，Windows 10 / 11 64位；支持 CSV / Excel / XML / PDF 报告导出 |
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工作环境 |
温度 18-28℃，湿度 <80% 无结露；AC 220V±10%，50Hz |
核心技术参数（标准配置指标）
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型号 |
波长范围 |
膜厚量程 |
光源 |
典型应用 |
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C10-UV |
190-1100nm |
1nm - 40μm |
氘灯 + 卤钨灯 |
深紫外波段、纳米级薄膜，半导体与光刻胶 |
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C10-UVX |
190-1700nm |
1nm - 250μm |
氘灯 + 卤钨灯 |
宽光谱超宽量程，多场景通用 |
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C10-基础款 |
380-1100nm |
10nm - 100μm |
卤钨灯 |
标准可见光测量，性价比高 |
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C10-NIRX |
380-1700nm |
10μm - 250μm |
卤钨灯 |
可见到近红外，较厚薄膜与对可见光吸收的样品 |
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C10-NIR |
950-1700nm |
100μm - 250μm |
卤钨灯 |
近红外专用，厚膜测量 |
*本技术规格最终解释权归生产厂家所有
适用行业与应用场景
半导体晶圆与光刻胶
光学镜片与滤光片镀膜
液晶显示与 OLED 镀层
光伏减反射膜与功能镀层
眼镜镜片镀膜
高校科研与第三方检测
典型膜层实测数据
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样品与膜层 |
实测厚度 |
应用领域 |
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光刻胶 |
72nm |
半导体光刻工艺 |
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ITO（氧化铟锡） |
36nm |
触摸屏与智能窗 |
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SiO₂（二氧化硅） |
2108nm |
光学镀膜与钝化层 |
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聚酰亚胺（PI）薄膜 |
162nm |
柔性显示与 OLED 载板 |
*精度与重复性指标在标准 100nm SiO₂/Si 样品、室温 23±2℃ 环境下测得，重复性取 100 次测量最大值。各型号详细参数以对应规格书为准。
标准配置
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主机（含自研光谱仪与光路） |
1 台 |
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进口卤钨灯光源 |
1 套 |
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测量软件（预装授权，三级权限管理） |
1 套 |
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SiO₂/Si 标准校准样片 |
1 套 |
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中文操作说明书、软件手册与校准证书 |
1 套 |
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常用工具包与备用耗材 |
1 套 |
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远程诊断与在线升级模块 |
1 套 |
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运输包装箱 |
1 套 |
服务承诺
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安装与培训 |
提供在线远程培训与上门安装服务，安装完成后进行操作培训，涵盖仪器操作、软件使用、测量方法与数据分析 |
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保修期限 |
自购买之日起一年免费保修，保修期内质量问题免费维修并更换故障部件；质保期外提供终身成本价维护 |
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响应时效 |
工作日 8 小时内响应；紧急情况 4 小时内首次响应 |
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上门时效 |
广州及周边 24 小时内上门，华南 48 小时内，全国主要省会城市 72 小时内到达现场 |
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备件支持 |
故障件 7 个工作日内提供解决方案，常用耗材与易损件本地仓储备货 |
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校准与计量 |
提供国家计量院或第三方可追溯校准证书（CNAS 可选） |
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打样测试 |
合同签订前可安排实际样品免费打样测试，出具实测评估系数与重复性数据 |
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软件升级 |
仪器使用寿命内免费升级（同机型）；提供远程诊断与在线升级模块 |
为什么选择景颐光电？
自主研发
膜厚反演算法（FFT 傅里叶法、极值法、曲线拟合法）与OPTICAFILMTEST 测量软件均为我司自主研发；光谱采集模块采用自研高精度光谱仪；
国家高新技术企业
公司成立于 2013 年，国家高新技术企业、专精特新企业、科技创新小巨人企业；与清华大学、北京大学等高校及研究院长期合作；
本地化服务
广州总部直服全国，提供在线远程培训、上门安装、远程故障诊断与备件速发；服务链路短于进口品牌经代理的间接模式；
可打样验证
合同签订前可安排实际样品免费打样测试，出具实测评估系数与重复性数据，作为配置确认与验收依据。
咨询客服，获取详细资料和专属方案
电话： 400-1800-685
邮箱：info@gzjygd.com
