景颐光电全自动膜厚测量仪 CT18 解析
全自动膜厚测量仪
jy-filmthick-ct18
复杂建模分析 纳米级高精度
膜厚解析算法 精密光谱干涉测厚法
千赫兹光谱采样速率
产品简介
景颐光电全自动膜厚测量仪jy-filmthick-ct18利用光干涉原理，设计高稳定测试大平台，桥驾式探测头结构，xy轴超大行程，可测量1.2x0.7m的大尺寸样品，一键测试输出自动定位对样品进行非接触式无损、高精度多点位测量，可应用于半导体薄膜、液晶显示、光学镀膜、生物医学等薄膜层的厚度测量。
opticafilmtest光学膜厚测量软件采用fft傅里叶法、极值法、拟合法多种高精度算法，可设置数百个测试点位，测量样品反射率、颜色、膜厚等参数，还包含了类型丰富的材料折射率数据库，开放式材料数据库，有效地协助用户进行测试分析，测量期间能实时显示干涉、fft波谱和膜厚等趋势。
应用领域
覆盖行业
高精密膜厚测量案例
半导体
硅半导体、碳化硅半导体、砷化镓半导体、光刻胶、氧化物/氮化物工艺薄膜、介电材料、硅或其他半导体膜层
液晶显示
oled、玻璃厚度、聚酰亚胺、lcd tft、ito与其他tco
光学镀层
hc硬涂层、ar抗反射层 ag防眩光涂层、滤光片眼镜
生物医学
parylene派瑞林、聚合物、生物膜、医疗设备
薄膜
ar膜、hc膜、pet膜
行业案例
氟塑料薄膜 厚度:162um
光刻胶 厚度:72nm
派瑞林(parylene) 厚度:2496nm
ito膜 氧化铟锡 厚度:36nm
sio2二氧化硅 硅晶圆 厚度:2108nm
钙钛矿 厚度:16.7nm
量子点 厚度:38.3nm
pi膜 厚度:30628nm
聚氨脂 厚度:26480nm
hc硬化层 厚度:52360nm
微流控涂层 厚度:3012nm
pdms薄膜 聚二甲基氧烷 厚度:10.8nm
产品特性
一键输出自动定位多点位测试
采用高强度氘钨灯光源，光谱覆盖深紫外到近红外范围
基于薄膜层上界面与下界面的反射光相干原理，轻松解析膜层厚度
配置强大核心分析算法：fft分析厚膜、曲线拟合分析法 分析薄膜的物理参数信息
曲线拟合分析法（curve fitting）分析薄膜
fft（快速傅里叶解析法）分析厚膜
极值分析法
合作客户
技术参数
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项目
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参数
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型号
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jy-filmthick-ct18
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膜厚测量波长范围
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400nm-1000nm
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膜厚检测范围
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1μm-250μm
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测量精度
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0.2%
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光斑大小
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直径3mm
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最大样品尺寸
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1200x700mm
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单次测试时间
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优于1秒
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膜厚测量方式
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单点自动定位检测
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测试点位数量
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最多可设定200个测试点位
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移动轴向
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xy轴移动
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可测量参数
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反射率、膜厚、颜色
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报告数据
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可输出样品不同区域测试数据文件
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自动判断
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可自定义测试判断条件，自动判断ok或者ng
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定位精度
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0.05mm
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显示
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内嵌工业级平板电脑
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选配定制功能
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透光率、折射率等
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