概述

景颐光电膜厚检测仪CHT-C200利用光干涉原理，机械结构集成的进口卤钨灯光源，使用寿命可达50000小时。膜厚测量仪对样品进行非接触式、无损、高精度检测，可检测反射率、颜色、膜厚等参数。可应用于半导体薄膜、液晶显示、光学镀膜、生物医学等薄膜层的厚度检测。OPTICAFILMTEST 光学膜厚检测软件采用FFT傅里叶法、极值法、拟合法多种高精度算法，包含了类型丰富的材料折射率数据库，开放式材料数据库，有效地协助用户进行测试分析，检测期间能实时显示干涉、FFT 波谱和膜厚等趋势。

 

 

 

产品特点

■ 采用高强度卤钨灯光源，光谱覆盖深紫外到近红外范围；

 

■ 基于薄膜层上界面与下界面的反射光相干涉原理，轻松解析膜层厚度

 

■ 配置强大核心分析算法：曲线拟合分析法、极值分析法、FFT分析厚膜分析薄膜的物理参数信息；   

 

 

 

应用领域

高精密膜厚检测案例

n 半导体（硅半导体、碳化硅半导体、砷化镓半导体、光刻胶、氧化物/氮化物、工艺薄膜、介电材料、硅或其他半导体膜层）

n 液晶显示（OLED、玻璃厚度、聚酰亚胺、LCD、TFT、ITO与其他TCO）

n 光学镀层（HC硬涂层、AR抗反射层、AG防眩光涂层、滤光片、眼镜）

n 生物医学（Parylene派瑞林、聚合物、生物膜、医疗设备）

n 薄膜（AR膜、HC膜、PET膜）

 

 

 

行业案例

 

 

 

 

技术参数

型号	CHT-C200
波长范围	400-1000nm
膜厚范围	7nm-65um
测试时间	优于1秒/次
光斑尺寸	3-5mm
探测器	CCD
光源类型	卤钨灯
测量精度重复性	0.02nm
光源寿命	50000小时
AD 转换器	16bit
分析软件	反射率、膜层厚度、数据对比、评估系数、支持用户自定义光学材料库

 

 

 

合作客户

华为 清华大学 北京大学  宁德时代   比亚迪  

中国航天  中国科学院技术物理研究所  长电科技

 

 

 

 

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