概述

FILMTHICK-C20 是高精度探头式光学膜厚测量设备。该设备基于成熟的反射式光谱干涉原理，采用高精度光纤探头设计，可实现薄膜厚度、折射率等参数的快速、接触式测量。

C20系列采用高强度卤钨灯光源，覆盖深紫外至近红外波段（190-1700nm），配合高性能CCD/InGaAs探测器和高速数据采集系统，具备纳米级测量精度和千赫兹级采样速率。设备采用模块化设计，核心部件可独立更换，降低维护成本，满足不同场景下的快速升级需求。

该系列产品已广泛应用于半导体晶圆检测、液晶显示面板镀层测量、光学镜片镀膜质检、生物医学薄膜分析等领域，成为行业内备受信赖的专业检测设备。

产品特点

■ 采用高强度氘/钨灯光源，光谱覆盖深紫外到近红外范围；

 

■ 基于薄膜层上界面与下界面的反射光相干涉原理，轻松解析膜层厚度

 

■ 配置强大核心分析算法：曲线拟合分析法、极值分析法、FFT分析厚膜分析薄膜的物理参数信息；

■ 高精度光纤探头：探头接口采用标准SMA905传输线路，确保测量稳定性和重复性

技术参数

 

型号规格

*取决于薄膜种类
型号	厚度范围*	波长范围
C20-UV	1nm-40um	190-1100nm
C20-UVX	1nm-250um	190-1700nm
C20	10nm-100um	380-1100nm
C20-NIRX	10um-250um	380-1700nm
C20-NIR	100um-250um	950-1700nm

 

 

 

 

 

应用领域

高精密膜厚测量案例

半导体（硅半导体、碳化硅半导体、砷化镓半导体、光刻胶、氧化物/氮化物、工艺薄膜、介电材料、硅或其他半导体膜层）

液晶显示（OLED、玻璃厚度、聚酰亚胺、LCD、TFT、ITO与其他TCO）

光学镀层（HC硬涂层、AR抗反射层、AG防眩光涂层、滤光片、眼镜）

生物医学（Parylene派瑞林、聚合物、生物膜、医疗设备）

薄膜 （AR膜、HC膜、PET膜）

 

 

行业案例

 

 

合作客户

华为 清华大学 北京大学  宁德时代   比亚迪   中国航天  中国科学院技术物理研究所  长电科技