概述

显微膜厚测量仪FILMTHICK-C40利用光干涉原理，机械结构集成的进口卤钨灯光源，使用寿命超过10000小时。FILMTHICK对样品进行非接触式、无损、高精度测量，可测量反射率、颜色、膜厚等参数。可应用于半导体薄膜、液晶显示、光学镀膜、生物医学等薄膜层的厚度测量。OPTICAFILMTEST 光学膜厚测量软件采用FFT傅里叶法、极值法、拟合法等多种高精度算法，包含了类型丰富的材料折射率数据库，开放式材料数据库，有效地协助用户进行测试分析，测量期间能实时显示干涉、FFT 波谱和膜厚等趋势。

 

产品特点

■ 采用高强度卤钨灯光源，光谱覆盖深紫外到近红外范围；

 

■ 基于薄膜层上界面与下界面的反射光相干涉原理，轻松解析膜层厚度

 

■ 配置强大核心分析算法：曲线拟合分析法、极值分析法、FFT分析厚膜分析薄膜的物理参数信息；

 

 

 

技术参数

 

应用领域

高精密膜厚测量案例

半导体（硅半导体、碳化硅半导体、砷化镓半导体、光刻胶、氧化物/氮化物、工艺薄膜、介电材料、硅或其他半导体膜层）

液晶显示（OLED、玻璃厚度、聚酰亚胺、LCD、TFT、ITO与其他TCO）

光学镀层（HC硬涂层、AR抗反射层、AG防眩光涂层、滤光片、眼镜）

生物医学（Parylene派瑞林、聚合物、生物膜、医疗设备）

薄膜 （AR膜、HC膜、PET膜）

 

 

 

行业案例

 

 

合作客户

华为 清华大学 北京大学  宁德时代   比亚迪   中国航天  中国科学院技术物理研究所  长电科技