产品概述

膜厚测量仪 FILMTHICK-C40运用光干涉原理，内置机械结构集成的进口卤钨灯光源，寿命超 10000 小时。它可对样品非接触、无损、高精度测量，精准获取反射率、颜色、膜厚等参数，适用于半导体、液晶显示、光学镀膜、生物医学等多领域薄膜测量。搭配的 OPTICAFILMTEST 软件含 FFT傅里叶法等多种高精度算法与丰富材料折射率数据库，测量时能实时呈现干涉、波谱、膜厚趋势，助力测试分析,精密光谱测量系统数秒出结果；遇微小区域或光斑需至1微米的测量要求，它表现出色。用足部校正显微镜物镜测量，结合 CCD 摄像头，用户通过电脑屏幕就能精准取值、清晰看样。

 

 

产品特点

■  采用高强度卤钨灯光源，光谱覆盖深紫外到近红外范围；

 

■ 基于薄膜层上界面与下界面的反射光相干涉原理，轻松解析膜层厚度

 

 

■ 配置强大核心分析算法：曲线拟合分析法、极值分析法、FFT分析厚膜分析薄膜的物理参数信息；

 

 

技术参数

 

 

 

 

应用领域

高精密膜厚测量案例

半导体（硅半导体、碳化硅半导体、砷化镓半导体、光刻胶、氧化物/氮化物、工艺薄膜、介电材料、硅或其他半导体膜层）

液晶显示（OLED、玻璃厚度、聚酰亚胺、LCD、TFT、ITO与其他TCO）

光学镀层（HC硬涂层、AR抗反射层、AG防眩光涂层、滤光片、眼镜）

生物医学（Parylene派瑞林、聚合物、生物膜、医疗设备）

薄膜 （AR膜、HC膜、PET膜）

 

 

 

行业案例

 

 

 

 

合作客户

华为 清华大学 北京大学  宁德时代   比亚迪   中国航天  中国科学院技术物理研究所  长电科技

 

 

 

 

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