在线检测系列
产线在线实时监测系统 · 在线测试专用
产线在线实时监测 · 0.8 秒级响应 · 多点同步扫描 · 多探头联机覆盖大型产线

 

产品简介
FILMTHICK-C30 在线检测系列，是面向在线测试场景单独开发的产线在线实时监测系统，适用于光伏、显示等密集生产型行业，替代传统离线抽检。设备采用反射式光谱干涉测厚原理，机械结构集成进口长寿命卤钨灯光源，配合自研高精度光谱仪与 FFT 傅里叶法、极值法、拟合法三大反演算法，对产线样品实现非接触、无损、高精度测量，覆盖单层及多层薄膜厚度、折射率 n、消光系数 k、反射率与颜色等参数。支持多点同步扫描，多个探头联机可覆盖大型产线；可搭配机械手实现全自动上下料与动态测量。
配套 OPTICAFILMTEST 光学膜厚测量软件（在线版）内置类型丰富、开放式的材料折射率数据库，测量期间可实时显示干涉、FFT 波谱和膜厚趋势，并把膜厚数据实时送入上位 MES 与 SPC 系统。硬件采用模块化设计，核心部件可独立更换，便于后续功能扩展；机械支撑系统、数据接口、软件功能、视觉系统、探头数量、布局方式六个维度按产线需求组合。

 

核心卖点
在线实时监测：产线连续生产过程控制，检测节拍跟得上产线，把质量控制从离线抽检前移到在线全检；
0.8 秒级超快响应：单工位响应时间 0.8 秒级，适配光伏、显示等高节拍产线；
多点同步扫描：支持多点同步采集；多个探头联机可覆盖大型产线，适配大尺寸基板与连续走料场景；
机械手全自动方案：可搭配机械臂实现自动上下料与动态测量，减少人工干预、保证测量位置一致性；
六维可定制：机械支撑系统、数据接口、软件功能、视觉系统、探头数量、布局方式六个维度按产线需求组合；
产线数据对接：支持工业以太网与现场总线，可与上位 MES / SPC 系统对接，实现数据追溯与 SPC 统计过程控制。

 

核心技术参数（标准配置指标）

光学原理	反射式光谱干涉法，在线非接触、无损测量
响应时间	单工位 0.8 秒级（以最新规格书为准）
测量方式	在线实时监测，非接触测量
光源	机械结构集成的进口长寿命卤钨灯光源，寿命 ≥10,000 小时
可测参数	膜厚 d、反射率光谱 R(λ)、颜色、折射率 n、消光系数 k
扫描能力	支持多点同步扫描；多探头联机可覆盖大型产线
自动化	可搭配机械手全自动上下料与动态测量
定制维度	机械支撑系统 / 数据接口 / 软件功能 / 视觉系统 /探头数量 / 布局方式
数据对接	工业以太网、现场总线，可与上位 MES / SPC 系统对接
软件	OPTICAFILMTEST 光学膜厚测量软件（在线版）；内置开放式材料折射率数据库，实时显示干涉光谱、FFT 波谱与膜厚趋势
工作环境	按产线现场条件定制，温度 18-28℃，湿度 <80%无结露

 

 

型号	UV	UVX	基础款	NIRX	NIR
波长范围	190-1100nm	190-1700nm	380-1100nm	380-1700nm	950-1700nm
光源	氘灯+卤钨灯		卤钨灯
厚度范围	1nm-40um	1nm-250um	10nm-100um	10um-250um	100um-250um
精度	0.02nm	0.02nm	0.02nm	0.02nm	0.1nm

*本技术规格最终解释权归生产厂家所有

 

定制维度

机械支撑系统	一体化卡盘 / 独立臂 / XY 轴导轨平台 / 机器人搭载 / 定制结构
数据接口	USB / 以太网（TCP/IP、Modbus）/ RS-232、485 / 无线通信
软件功能	基础版（采集显示）/ 标准版（分析报告）/ 专业版（自动化脚本、批处理）/ 定制开发
视觉系统	无视觉 / 基础视觉（位置识别）/ 高精视觉（缺陷检测）/ 3D 视觉（轮廓重建）
探头数量	双探头 / 三探头 / 四探头 / 多探头阵列（5 至 16 探头）/ 自定义数量
布局方式	线性阵列 / 矩形阵列 / 环形阵列 / 自定义阵列 / 可移动阵列

 

适用行业与应用场景

钙钛矿光伏产线在线监测

薄膜电池质量监控

OLED 蒸镀层在线检测

聚酰亚胺（PI）膜产线监测

连续生产过程控制

大面积基板在线全检

 

 

典型膜层实测数据

样品与膜层	实测厚度	应用领域
钙钛矿（Perovskite）	16.7nm	钙钛矿太阳能电池
聚酰亚胺（PI）薄膜	162nm	柔性显示与 OLED 载板
量子点（QD）	34.3nm	QLED 显示

*本系列为在线测试场景定制机型，技术参数与配置按产线需求组合，详细指标以最新规格书与项目技术协议为准。

 

标准配置

主机（含自研高精度光谱仪与光路）	1 台
进口长寿命卤钨灯光源	1 套
测量软件（预装授权，三级权限管理）	1 套
SiO₂/Si 标准校准样片	1 套
中文操作说明书、软件手册与校准证书	1 套
常用工具包与备用耗材	1 套
远程诊断与在线升级模块	1 套
运输包装箱	1 套

 

服务承诺

安装与培训	提供在线远程培训与上门安装服务，安装完成后进行操作培训，涵盖仪器操作、软件使用、测量方法与数据分析
保修期限	自购买之日起一年免费保修，保修期内质量问题免费维修并更换故障部件；质保期外提供终身成本价维护
响应时效	工作日 8 小时内响应；紧急情况 4 小时内首次响应
上门时效	广州及周边 24 小时内上门，华南 48 小时内，全国主要省会城市 72 小时内到达现场
备件支持	故障件 7 个工作日内提供解决方案，常用耗材与易损件本地仓储备货
校准与计量	提供国家计量院或第三方可追溯校准证书（CNAS可选）
打样测试	合同签订前可安排实际样品免费打样测试，出具实测评估系数与重复性数据
软件升级	仪器使用寿命内免费升级（同机型）；提供远程诊断与在线升级模块

 

 

为什么选择景颐光电？

自主研发

膜厚反演算法（FFT 傅里叶法、极值法、曲线拟合法）与OPTICAFILMTEST 测量软件均为我司自主研发；光谱采集模块采用自研高精度光谱仪；

 

国家高新技术企业

公司成立于 2013 年，国家高新技术企业、专精特新企业、科技创新小巨人企业；与清华大学、北京大学等高校及研究院长期合作；

 

本地化服务

广州总部直服全国，提供在线远程培训、上门安装、远程故障诊断与备件速发；服务链路短于进口品牌经代理的间接模式；

 

可打样验证

合同签订前可安排实际样品免费打样测试，出具实测评估系数与重复性数据，作为配置确认与验收依据。

 

 

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